GB/T 15862-1995
离子注入机通用技术条件
Generic specification for ion implantation equipment
GBT15862-1995, GB15862-1995
2013-02
GB/T 15862-1995 发布历史
GB/T 15862-1995由国家质检总局 CN-GB 发布于 1995-12-22，并于 1996-08-01 实施，于 2013-02-15 废止。
GB/T 15862-1995 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备，在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。
GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件的最新版本是哪一版？
最新版本是 GB/T 15862-2012 。
GB/T 15862-1995的历代版本如下：
- 2012年 GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范
- 1995年 GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。
- 标准号
- GB/T 15862-1995
- 别名
- GBT15862-1995
GB15862-1995 - 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 15862-2012
- 当前最新
- GB/T 15862-2012