GB/T 15862-1995
离子注入机通用技术条件
Generic specification for ion implantation equipment
GBT15862-1995, GB15862-1995
2013-02
- 标准号
- GB/T 15862-1995
- 别名
- GBT15862-1995, GB15862-1995
- 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 15862-2012
- 当前最新
- GB/T 15862-2012
- 适用范围
- 本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。