ASTM F1593-97(2002)
应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级铝中微量金属杂质的标准试验方法

Standard Test Method for Trace Metallic Impurities in Electronic Grade Aluminum by High Mass-Resolution Glow-Discharge Mass Spectrometer

被代替

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标准号: ASTM F1593-97(2002)
发布: 1997年
发布单位: 美国材料与试验协会
替代标准: ASTM F1593-08
当前最新: ASTM F1593-08(2016)

该测试方法适用于半导体行业，用于评估薄膜金属化工艺中使用的材料（例如溅射靶材、蒸发源）的纯度。经有关各方商定，该测试方法可能在负责技术委员会未设想的其他应用中有用。该测试方法旨在供各个实验室的 GDMS 分析人员使用，以统一测定纯铝中痕量杂质的方案和参数。目的是提高实验室间分析数据的一致性。该测试方法还针对 GDMS 分析的用户，以帮助他们了解测定方法以及报...

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