SJ 20984-2008
化学气相淀积(CVD)设备通用规范

General specification for chemical vapor deposition (CVD) equipment


说明:

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SJ 20984-2008



标准号
SJ 20984-2008
发布日期
2008年04月15日
实施日期
2008年06月30日
废止日期
中国标准分类号
L99
国际标准分类号
31-550
发布单位
CN-SJ
引用标准
GB/T 191 GB/T 5080.7-1986 GB/T 6388 GB/T 5226.1-2002 GB/T 13384-1992 GB/T 17626.1-1998 SJ/T 37-1996 SJ 1276-1977 SJ/T 10674-1995
适用范围
本规范规定了化学气相淀积设备的要求、质量保证规定、交货准备。 本规范适用于电子行业中光电子、微电子器件的研制和生产的化学气相淀积设备,其它行业的类似设备也可参照执行。

SJ 20984-2008 中可能用到的仪器设备





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