本规范规定了化学气相淀积设备的要求、质量保证规定、交货准备。 本规范适用于电子行业中光电子、微电子器件的研制和生产的化学气相淀积设备,其它行业的类似设备也可参照执行。
SJ 20984-2008由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 2008-04-15,并于 2008-06-30 实施。
SJ 20984-2008 在中国标准分类中归属于: L99 其他生产设备,在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。
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