SIMS主要包括一次离子源、进样室、质量分析器、真空系统、数据处理系统等部分，对于绝缘样品还配有电荷补偿的电子中和枪，同时根据分析目的不同，还配有不同的离子源，常见的有气体放电源（如O、Ar、Xe）、表面电离源（如Cs）、热隙源（如C60）和液态金属及团簇源（如Bin、Aun、Ga）等。
这是用来检测材料的一种表面分析仪器，即是利用离子束把待分析的材料从表面溅射出来，然后再检测出离子组分并进行质量分析。它是对微粒进行同位素分析的有力工具，但它不能直接分辨同量异位数和确认元素，也难以高效率地在环境样品中寻找特定成分的微粒。
首页
