GB/T 15862-1995
离子注入机通用技术条件

Generic specification for ion implantation equipment

GBT15862-1995, GB15862-1995

2013-02

GB/T 15862-1995 中，可能用到以下仪器设备

 

AXIMA Performance – MALDI TOF/TOF 质谱仪

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岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司

 

rapifleX™ MALDI-TOF/TOF组织成像质谱

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美国布鲁克道尔顿公司（Bruker Daltonic Inc.）

 

ultrafleXtreme MALDI-TOF/TOF质谱仪

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美国布鲁克道尔顿公司（Bruker Daltonic Inc.）

 

NT-MDT Ntegra Platform 原子力显微镜（AFM）平台

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上海纳腾仪器有限公司

 

是德Keysight 7500 ILM 扫描探针显微镜

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是德科技（中国）有限公司KEYSIGHT

 

5600LS 扫描探针显微镜

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是德科技（中国）有限公司KEYSIGHT

 

CellHesion200单细胞力谱仪显微镜

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DT/仪思奇（北京）科技发展有限公司

 

融智生物 QuanIMAGE成像质谱系统

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融智生物科技（青岛）有限公司

 

耐压测试仪电压击穿仪

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山东盛泰仪器有限公司

 

温度测试贴

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牛津仪器（上海）有限公司

 

编码器芯片AM4096

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雷尼绍（上海）贸易有限公司

 

编码器模块RMB28

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雷尼绍（上海）贸易有限公司

 

编码器RM44

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雷尼绍（上海）贸易有限公司

 

Eppendorf 细胞培养板

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艾本德中国有限公司(Eppendorf)

 

Eppendorf 细胞培养瓶

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艾本德中国有限公司(Eppendorf)

 

创新型分离度测试仪

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麦克默瑞提克(上海）仪器有限公司

 

肥料颗粒粉化率测定仪

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山东盛泰仪器有限公司

 

绝缘油带电倾向性测定仪

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山东盛泰仪器有限公司

 

自动苯胺点测定仪SD262B

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山东盛泰仪器有限公司

 

灼热丝试验仪

灼热丝试验仪

上海和晟仪器科技有限公司

 

针焰试验仪

针焰试验仪

上海和晟仪器科技有限公司

 

亚20飞秒激光脉冲靶基因转移系统

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北京欧兰科技发展有限公司

 

4面精密微米级制膜器

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

靶头

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真空腔体

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

ZJ-12真空规

ZJ-12真空规

沈阳科晶/KJ GROUP

 

ZJ-10B真空规

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

程控垂直提拉机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

红外加热喷雾旋转涂膜机

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

振动样品台

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金相研究成套设备-简便系列

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

金相研究成套设备-经济系列

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

金相研究成套设备-中级系列

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

金相研究成套设备-高级系列

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金相研究成套设备-实用系列

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陶瓷、玻璃等脆性材料研究成套设备-高级系列

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

玻璃、晶体等脆性材料研究成套设备-中级系列

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

玻璃、晶体等脆性材料研究成套设备-经济系列

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玻璃、晶体等脆性材料研究成套设备

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扣式电池实验室研究成套设备

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圆柱电池实验室研究成套设备

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沈阳科晶/KJ GROUP

 

软包电池实验室研究成套设备

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掩膜版

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膜厚监测仪

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手动液压纽扣电池拆卸机

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CM100膜厚仪

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桌面式通风柜

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水分仪

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微型管式炉

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ZG型微波管式炉

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GB/T 15862-1995
标准号
GB/T 15862-1995
别名
GBT15862-1995
GB15862-1995
发布
1995年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 15862-2012
当前最新
GB/T 15862-2012
 
 
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。

GB/T 15862-1995 中可能用到的仪器设备

二次离子质谱/离子探针 扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM MALDI质谱 电压击穿试验仪 其它物性测试仪器 四探针测试仪 电磁法仪器 其他包装业专用 化学/化工 涂料/油墨/颜料 电流表 真空计 在机测量


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