1、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→电去离子装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM)
2、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→电去离子装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥17MΩ.CM)
3、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→电去离子装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥15MΩ.CM)
与传统的超纯水制备工艺相较，现代的超纯水制备工艺更加具有时代的特点。在这个讲究环保的年代，传统的混床工艺不但就有水质不稳定的缺点，还会在再生过程中产生污染环境的废水；而现代工艺电去离子装置不但具有传统工艺无法比拟的连续产水、水质稳定的高性能，而且经济环保。由此可见，传统工艺时代的终结也不会太远了。
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