X射线光电子能谱（XPS）分析合金—单色化Ag Lα X射线源分析Ni_Co_Mn合金成分

本文以Ni/Co/Mn合金的XPS分析为例，利用单色化Al Kα靶采集的高分辨Co 2p和Mn 2p 谱图如图1和图2所示。这些高分辨谱图与Co 和Ni 元素的俄歇峰重叠，俄歇峰的出现不仅会影响样品表面的定量，还会导致样品表面化学态的错误分析。

      图1 单色化Al Kα靶采集的高分辨Co 2p谱图

图2 单色化Al Kα靶采集的高分辨Mn 2p谱图

一般采用不同的X射线源来解决谱峰重叠的问题。许多仪器配有除单色化的Al Kα靶之外，还配有Mg/Al双阳极X射线源。从单色化的Al Kα (1486.6 eV) X射线源切换到Mg (1253.3 eV) X射线源比较简单，而且切换之后俄歇谱线相对光电子谱线会发生233 eV的移动。但是这一方法容易引入X射线卫星线的影响。

利用岛津/Kratos公司的单色化Ag靶可以解决以上问题。当采用Ag Lα靶采集高分辨谱图时，可以发现俄歇谱线发生了位移而使谱图变得简单（图3和图4）。这说明Ag Lα靶能够去除俄歇峰的干扰而不引入X射线卫星线，这样的谱图更容易进行分析。图3 中Co 2p存在一种化学态，结合能位于780.5 eV的Co 2p3/2峰为CoO中Co的特征峰。图4中Mn 2p也是由一个化学态组成，Mn 2p3/2的峰位在641.0 eV，这是MnO中Mn的特征峰。

图3 单色化Ag Lα靶采集的高分辨Co 2p谱图

图4 单色化Ag Lα靶采集的高分辨Mn 2p谱图

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