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解决方案|ICP-OES法测定半导体芯片清洗液中重金属

东西分析
2021.12.03
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北京东西分析仪器有限公司
简介半导体作为现代电子工业发展的基础和支撑，在电子工业的应用和所选用的材料也越来越广泛。半导体芯片制作环节所用清洗液有蚀刻后清洗液，用于对晶圆表面清除残留物以及对TiN腐蚀进行清洗，POST CMP清洗液，用于解决化学机械研磨后晶圆表面缺陷问题，以保证良率。随着通信技术的快速发展，半导体芯片清洗液的关注度及可靠性引起了越来越多的关注。本文采用Quantima电感耦合等离子发射光谱仪建立了清洗液中的相关金属元素检测解决方案，供相关人员参考。

PART ONE实验部分



仪器设备


Quantima电感耦合等离子体发射光谱仪


实验条件


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样品处理：准确量取6.25mL样品于50mL瓷坩埚中，电热板120℃将水分蒸干，蒸干后转至可调温电炉上碳化，碳化后冷却至室温，加盖，转移至马弗炉中500℃4h，冷却至室温后取出，开盖，加入1.0mL硝酸溶解残渣，电热板120℃将酸赶至0.2mL取下冷却至室温，用去离子水转移至25mL容量瓶中，用去离子水冲坩埚至少3次，定容至刻度后摇匀备用。



PART TWO实验结果



标准曲线


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样品检测结果


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PART THREE实验总结



电感耦合等离子体原子发射光谱法测试金属含量具有灵敏度高、检出限低、干扰少、线性范围宽等优点，且分析过程简单，可以满足快速高效的分析测定要求。本文通过选择合适的操作条件和分析谱线测得经过预处理的清洗液试样中的金属元素，获得客户的认可。该方法可供相关人员参考。

 


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关于我们


北京东西分析仪器有限公司，拥有三十多年的分析仪器研发、制造、服务的历史，系国家高新技术企业、北京市高新技术企业、北京市“专精特新”小巨人企业、北京市“专精特新”中小企业和分析仪器制造行业国际化企业。拥有计量器具资质、医疗器械资质和安标资质等多项资质证书。多次获得BCEIA金奖和行业最具影响力奖。在行业内率先通过ISO9001国际质量体系认证，ISO14001环境管理体系认证。多个产品取得欧盟CE认证，系中华预防医学会卫检专用委员会产品信得过单位。


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