扫描电子显微镜的简称扫描电镜。利用聚焦电子束在试样表面扫描产生的电子信息，研究物质表层形貌特征的电子光学仪器。由镜筒、真空系统和电器系统三部分组成。工作原理，电子枪产生的电子束、经会聚镜和物镜聚焦成细束后，在试样表面扫描，产生二次电子、背散射电子，吸收屯子、透射电子等信息经探测器分别接收并放大输入显像管栅极，调节其亮度，最终获得一幅与试样表面结构有关的电子图像，可用以对试样表面形貌、颗粒大小，电位分布及表面元素分布进行研究。若配有X射线能谱仪附件，在获得形貌像的同时可对该微区进行成分分析。具有立体感强、分辨率高（6mn)、放大倍数从20倍〜30万倍连续可调、制样简便等特点，被广泛应用于各学科研究领域和工业部门。
首页
