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离子溅射仪器的技术指标

2022.2.14
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事，把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

　　离子溅射仪器是一种用于交通运输工程领域的分析仪器，于2016年06月28日启用。

　　技术指标

　　（1）样品室大小：直径120mm×高度120mm；

　　（2）靶材：Au靶、Au/Pd靶、Pt靶、Pt/Pd靶，靶材尺寸：直径57mm×厚度0.1mm；

　　（3）样品台：可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm；

　　（4）溅射控制：程序化数字控制，最大电流40mA；

　　（5）溅射头：低电压平面磁控管；

　　（6）厚度监控：MTM-20高分辨厚度控制仪，可自动终止溅射过程。

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