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X光电子能谱仪

2021.10.26
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事，把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

　　X光电子能谱仪是一种用于能源科学技术领域的分析仪器，于2010年10月1日启用。

　　技术指标

　　最佳能量分辨率 < 30 μm，最佳能量分辨率 < 0.5 eV FWHM，C1s能量分辨率< 0.85 eV，离子源能量范围：100 eV至3 keV，最大束流：4 μA，在烘烤完成24小时后，分析室最佳真空：5×10-9 mbar。

　　主要功能

　　测量固体材料表面元素种类、含量及价态，以及样品离子溅射后元素分析。

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