这三种能谱分析的对象不同，所得的信息不同。很难放在一块儿来比较。
X射线光电子能谱法：用来（定性）分析原子在化合物中的价态，和化合形态。仪器简单，光谱解析简单。
紫外光电子能谱法：分析价层轨道里的电子的能量和作用。可以获得很多关于分子的稳定性，反应性等信息。但是由于电子的跃迁和振动能级有作用，和分子对称性相关极为紧密。图谱解析复杂。仪器要求较高。
Auger电子能谱法：属于二次电子能谱法。多用于对固体，或凝聚态物质进行元素和价态的分析。图谱简单，仪器要求较高。常用来和X射线光电子能谱,荧光光谱，互补联合使用。
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