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ICP-MS (Inductively coupled plasma mass spectrometry):电感耦合等离子体质谱在负载线圈上面约10 mm处,焰炬温度大约为8000 K,在这么高的温度下,电离能低于7 eV的元素完全电离,电离能低于10.5 eV的元素电离度大于20%。由于大部分重要的元素电离能都低于10.5 eV,因此都有很高的灵敏度,少数电离能较高的元素,如C、O、Cl、Br等也能检测,只是灵敏度较低