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为什么扫描电子显微镜的分辨率和信号的种类有关

2022.8.10
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超级艾蛋木啊

致力于为分析测试行业奉献终身

扫描电子显微镜的分辨率和信号种类有关？试将各种信号的分辨率高低作一比较。
答:

扫描电子显微镜的分辨率和信号种类是有关的.具体比较如下表:
信号 二次电子 背散射电子 吸收电子 特征x射线 俄歇电子
分辨率 5-10 50-200 100-1000 100-1000 5-10
二次电子和俄歇电子的分辨率最高,而特征x射线调制成显微图象的分辨率最低.
电子束进入轻元素样品表面后会造成一个滴状作用体积.入射电子束在被样品吸收或散射出样品表面之前将在这个体积内活动.

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