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质谱检漏仪用来检测真空腔体中几种气体分子的分压,然后换算成泄漏速率。当气体分子到达探头时,探头采样并给出信号,经过自动换算得出分压数值。质谱检漏仪的本底噪声主要来自探测器的本底噪声,会有内置程序对噪声进行处理,降低对测量的影响。所以对检漏的影响不大。但当探头表面有附着物,会影响精度,所以每次使用前有个探头预热过程,消除表面附着物。这个过程类似电离真空计的使用过程。