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认真做好每一件喜欢的事,把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事
离子注入机是高压小型加速器中的一种,应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等。
中文名:离子注入机
外文名:Ion implanter
属 性:加速器应用领域金属表面改性、集成电路制造等