分析测试百科网

搜索

喜欢作者

微信支付微信支付
×

俄歇电子能谱分析是一种表面分析方法且空间分辨率高

2018.7.27
头像

温洁

致力于为分析测试行业奉献终身

（1）大多数元素在50~1000eV能量范围内都有产额较高的俄歇电子，它们的有效激发体积（空间分辨率）取决于入射电子束的束斑直径和俄歇电子的发射深度。

（2）能够保持特征能量（没有能量损失）而逸出表面的俄歇电子，发射深度仅限于表面以下大约2nm以内，约相当于表面几个原子层，且发射（逸出）深度与俄歇电子的能量以及样品材料有关。

（3）在这样浅的表层内逸出俄歇电子时，入射电子束的侧向扩展几乎尚未开始，故其空间分辨率直接由入射电子束的直径决定。


能谱分析/俄歇电子
互联网
文章推荐