扫描电镜的发展

  1873年解像力和照射光的波长成反比的理论以及1897年电子的发现都为挂技术的诞生提供了有力的支持。1924年电子本身具有波动的物理特性的提出，为电子显微镜提供了有力的理论支持。1926年电子可像光线一样可通过玻璃透镜发生偏折的理论被提出，而在1931年那穿透式电子显微镜的原型机诞生。这些都为扫描电镜理念的提出和成功提供了基础，在1935年至1942年期间该理念被提出，并通过反复的研制取得了一定的成功。
　　在1942年至1965年期间，扫描电镜技术逐渐具有实用性，并逐渐向商品化方向发展。在此之后扫描电镜愈发精细化，相关人员不断的研究，在很大程度上促进了扫描电镜分辨率的提升，并且提高了其真空度，提高了抗干扰的能力等。在1968年时场发射扫描电镜研发成功，进一步使扫描电镜的分辨率提高，并且电子枪由以往的钨灯丝装逼安慰场致发射电子枪，从而实现了电子发射时所消耗的电子能量的降低。
　　我国在上世纪七十年代自主研发扫描电镜。之后再进行扫描电镜的研究时，通常融入了其他的技术，有利于增加扫描电镜的功能。如在扫描电镜体系中引入了能谱仪，从而使扫描电镜的实用性进一步提升。使扫描电镜在对微观组织的结构进行观察试样的同时，还可以测定试样中的微量元素的成分在扫描电镜中引入波谱仪，可以使分析成分的能力高。低真空扫描电镜和其他分支的出现，在很大程度上促进了扫描电镜的发展与进步。
　　2002年冷场发射S4800型号的扫描电镜问世，该型号的扫描电镜具有更高的分辨率，并且对纳米材料可清晰准确的观察，因此在纳米材料的研究领域中得到了应用，将其应用到医药领域，同样具有较好的效果。